بررسی ساختار نانوئی لایه های نازکtio2-sno2 و مطالعه ی آن ها به عنوان حسگـر گازی

در این پایان نامه لایه های نازک tio2-sno2 به روی زیر لایه های مختلف به روش های فیزیکی(تبخیر در خلأ و بیم الکترونی) و شیمیایی(سل-ژل) ساخته شدند. در روش فیزیکی از قرص-های متراکم tio2-sno2 برای چشمه ی تبخیر استفاده گردید. در روش سل-ژل محلول لایه نشانی tio2-sno2 از ترکیب سل های tio2 و sno2 تهیه شد. از پیش ماده های تترا ایزوپروپوکسید-اورتوتیتانات برای تهیه سل tio2 و کلریدقلع دو آبه برای تهیه سل sno2 بهره گرفته شد. بعد از لایه نشانی به منظور بهبود ساختار بلوری عملیات حرارتی روی لایه ها انجام پذیرفت. جهت مطالعه خواص ساختاری لایه ها، مورفولوژی سطح و نحوه دانه بندی از آنالیزهای xrdو sem استفاده گردید. مطالعه خواص اپتیکی و الکتریکی لایه ها توسط طیف سنجی uv/vis/nir در محدوده ی طول موجی 1200-200 نانومتر و سیستم اندازه گیری دو نقطه ای (i-v) انجام پذیرفت. به منظور اندازه گیری رسانایی و حساسیت در حضور گاز در محفظه مورد نظر الکترودهایی از جنس طلا طبق الگوی طراحی شده روی نمونه ها به روش تبخیر در خلأ لایه نشانی گردید. سپس آزمایش حسگری گاز، در حضور گاز مونوکسید کربن روی حسگر های گازی tio2-sno2 ساخته شده، به روش های فیزیکی و شیمیایی انجام پذیرفت، نهایتاً تغییرات مقاومت و ولتاژ لایه های نازک tio2-sno2 با زمان مورد مطالعه و بررسی قرار گرفت. نتایج نشان داد، لایه های نازکی که ساختار نانویی دارند گزینه های مناسبی برای تشخیص آلاینده های گازی به شمار می روند.